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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):CCI LITE
  • 產(chǎn)品廠商:英國(guó)TAYLOR HOBSON
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI(磚利技術(shù)的相干相關(guān)算法)干涉原理,可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測(cè)分析并生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告
詳情介紹:
英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀: CCI Lite非接觸形貌儀采用CCI(磚利技術(shù)的相干相關(guān)算法)干涉原理,可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度、三維及二維尺寸、表面缺陷檢測(cè)分析并生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告;
英國(guó)TAYLOR HOBSON非接觸形貌儀: 
1.      減震基座及立柱:
  鑄鋁基座:結(jié)合氣浮減震,提高測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)精度
 鋼結(jié)構(gòu)立柱:提高測(cè)量回路的堅(jiān)固性和穩(wěn)定性,降低外部震動(dòng)影響
 
2. 系統(tǒng)參數(shù)
   (1) 干涉類型 :   CCI 干涉,泰勒霍普森磚利相干相關(guān)算法
   (2) 測(cè)量量程:    2.2mm(標(biāo)準(zhǔn)), >10mm是采用數(shù)據(jù)拼接
   (3) 分辨率:        0.1 A
   (4) RMS重復(fù)性:   <0.02nm
   (5)垂直掃描速度: 7 um/s
   (6) 測(cè)量點(diǎn)數(shù):        1 1024 x 1024 點(diǎn)陣
   (7) X Y 軸單次測(cè)量范圍: 0.36 – 7.2 mm
      (8) X Y 軸分辨率:         0.4-0.6um
   (9) 臺(tái)階高度的重復(fù)性: >0.1 %
   (10)系統(tǒng)噪音:                  <0.08nm
   (11)測(cè)量時(shí)間:                 典型樣品5-20秒
(12) 被測(cè)件的反射率:     0.3 –100%
 
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